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仪器详情

仪器名称:脉冲激光溅射沉积与离子束清洗系统

英文名称:

规格型号:PLD-450a

分  类:工艺实验设备 > 纺织工艺实验设备

应用领域:其他

所属单位:河北师范大学

产  地:中国

厂  商:中科院沈阳科学仪器研制中心

价  值:35万

购置日期:2008-12-31

使用状态:在用



   
简介

主要技术指标

"极限真空度6.0×10-5 Pa 系统真空检漏漏率5.0×10-7 Pa。L/S 基片最高温度 800℃±1℃ 靶材转速5-60rad/min 基片转速5-60rad/min 激光入射点距离地面高度1200mm"

功能/应用范围

用于生长通常的无极和有机薄膜材料,尤其适用于其他制膜设备和方法难以制备的高熔点、多元素(特别是含有气体元素的多元素)和复杂层状结构的薄膜。同时还能进行相应的激光与物质相互作用和成膜过程的物理、化学等方面的基础研究。

主要附件

技术特色

服务信息

每年可供对外服务(机时):


上年对外服务(机时): 80


接待时间(工作日): 10 


收费标准(元/样品):  


每小时占用费(元): 80 


运维单位:河北百汇广联科技服务有限公司
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